HMDS烘箱原理

HMDS烘箱也稱為HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS蒸鍍機(jī)等，是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C)，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。

HMDS烘箱技術(shù)指標(biāo)

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤133pa（1torr）

控制儀表：人機(jī)界面，一鍵運(yùn)行

HMDS控制：可設(shè)定

HMDS工藝：進(jìn)入腔體到尾氣排出完全密閉，無(wú)任何泄漏

安全檢測(cè)：在線檢測(cè)，HMDS泄漏警 報(bào)提示

儲(chǔ)液瓶：HMDS儲(chǔ)液瓶

真空泵：無(wú)油渦旋真空泵

規(guī)格尺寸（mm）：300*300*300/450*450*450、定制

數(shù)據(jù)記錄：開機(jī)、待機(jī)、升溫、壓力等數(shù)據(jù)記錄

功能：脫水烘烤、增粘劑蒸鍍、后烘

用途 ：將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。